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一种异质结硅磁敏三极管和制作工艺方法[发明专利]

来源:保捱科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种异质结硅磁敏三极管和制作工艺方法专利类型:发明专利

发明人:赵晓锋,漆园园,刘红梅,温殿忠申请号:CN201811594928.1申请日:20181225公开号:CN109473541A公开日:20190315

摘要:本发明公开了一种异质结硅磁敏三极管及其制作工艺,所述传感器包括作为器件层的第一硅片(1)和作为衬底的第二硅片(2)。本发明所述异质结硅磁敏三极管结构简单,实现了芯片的小型化和集成化;所述制作工艺简单,易于实现,适合规模化工业应用。

申请人:黑龙江大学

地址:150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号

国籍:CN

代理机构:北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙)

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