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脉冲微位移传感器[实用新型专利]

来源:保捱科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:脉冲微位移传感器专利类型:实用新型专利发明人:王晨,白剑,周斌,汪凯巍申请号:CN201420675401.2申请日:20141113公开号:CN204269076U公开日:20150415

摘要:本实用新型公开了一种脉冲微位移传感器,该传感器包括红外光源、运动光栅、固定光栅、第一红外光电倍增管,第二红外光电倍增管、第一梳状电极、第二梳状电极,上层电容平板、下层电容平板、运动光栅的回形悬臂梁、信号处理模块和电流驱动模块。本实用新型依据伍德异常现象中的一种特殊情况,即精确控制两层光栅间隔在1/5的波长量级时,调整光栅的周期、占空比等参数,两层光栅位移时,反射光产生脉冲式变化的现象,比一般的伍德异常光强变化平缓曲线有更高的斜率,能够极大地放大微小位移的信号,从而测量位移。本实用新型扩大了动态范围,实现小型化,在军事领域有很广泛应用前景。

申请人:浙江大学

地址:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

国籍:CN

代理机构:杭州求是专利事务所有限公司

代理人:邱启旺

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