纳米金刚石抛光液中磨料的可控性团聚研究现状

王沛;朱峰;王志强

【摘 要】纳米金刚石抛光液在超精密抛光中应用广泛，但纳米金刚石极易发生团聚，了它在抛光领域中的应用。对纳米金刚石抛光液中磨料的分散机理、分散方法以及国内外在纳米金刚石抛光液制备中的一些研究现状进行了综述，提出了纳米金刚石抛光液的研究方向。%Nano-diamond polishing slurry has good application prospect in ultra-precision polishing.But the nano-diamond always aggregates easily,which limits its application in polishing area. The mechanism and methods of dispersion are analyzed,and domestic and foreign research status of the nano-diamond polishing slurry are

introduced.At last the development direction of nano-diamond polishing slurry is put forward.

【期刊名称】《金刚石与磨料磨具工程》 【年(卷),期】2014(000)006 【总页数】6页(P-68,75)

【关键词】纳米金刚石;抛光液;可控性团聚;分散 【作 者】王沛;朱峰;王志强

【作者单位】河南工业大学，郑州 450001;河南工业大学，郑州 450001; 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司，郑州 450001;郑州磨料磨具磨削研究所有限公司，郑州 450001

【正文语种】中 文 【中图分类】TQ1

纳米金刚石抛光液以其优异的性能广泛应用在计算机硬盘、计算机磁头、蓝宝石衬底抛光等领域。由于纳米金刚石颗粒的超细、超硬特性，使得在抛光中存在的许多难题都迎刃而解。可以使抛光速率大大增加，效率提高几十倍，从而被视为将来替代氧化铝、硅溶胶等普通磨料抛光液的新材料。

在纳米金刚石抛光液应用中，良好的抛光液粒径控制是获得好的加工效果的重要保障。但是，由于比表面积大、比表面能高，纳米金刚石处于热力学不稳定状态，颗粒间极易发生团聚，并且这种团聚往往很难被破坏。要想实现纳米金刚石抛光液中磨料粒径的可控，首先要对纳米金刚石颗粒间的团聚进行破坏，实现纳米金刚石的分散。

目前，国外可以提供100 nm以下不同粒度区间的纳米金刚石抛光液。国内对此类产品的开发比较晚，只有为数不多的几家公司可以很好地实现对纳米金刚石团聚的控制，成功开发出了纳米金刚石抛光液的系列产品。国内市场应用还主要以国外产品为主，且价格昂贵。因此，开发此类产品具有非常广阔的应用前景和实际意义。 1 纳米金刚石在溶液中的分散机理

实现纳米金刚石抛光液中的磨料团聚的可控，用以指导最终抛光液产品的系列化制备，最根本的是把握纳米金刚石颗粒的分散方法。实现纳米金刚石分散的机理主要有三种，即静电位阻[1]、空间位阻、空间-静电位阻。

静电位阻主要指双电层理论。粒子表面由于带正电荷或负电荷，其外部由于电性吸引，会形成一个负离子层或正离子层，合成双电层。颗粒形成静电位阻示意图如图1所示。由图1可知：第一层是在表面上专属吸附的离子；第二层是依靠静电作用

形成的带相反电荷的扩散。由于同种电荷互相排斥，所以颗粒之间会产生一定的电斥力。且颗粒表面电位越高，斥力会越强，颗粒间相互团聚需要克服的势垒就越大，所以表面电位往往是衡量纳米颗粒分散稳定性能的一个重要指标。如Gibson N等[2]通过等离子体处理和添加氧化铬的方法，对纳米金刚石表面进行改性，使纳米金刚石颗粒的表面电位提高，获得了在较长时间稳定存在的纳米金刚石悬浮液体系。 图1 颗粒形成静电位阻示意图

空间位阻是指纳米金刚石颗粒之间由于表面活性剂的存在而形成空间阻隔的作用。水介质中的表面活性剂在纳米金刚石表面吸附示意图如图2所示。表面活性剂在纳米金刚石表面会形成指向水相的亲水基团和指向纳米金刚石的亲油基团的定向排列，使纳米金刚石表面几乎不与水相接触。在空间上，对纳米金刚石之间实现了一种空间阻隔作用，减少了分子间的相对作用力。在油性体系中，表面活性剂则会形成亲水基指向纳米金刚石表面，亲油基指向油相的定向排列，如图3所示。 图2 水介质中的表面活性剂在纳米金刚石表面吸附示意图

空间-静电位阻指空间位阻与静电位阻的协同作用，即在空间上对纳米粒子形成一定的空间阻隔作用，同时粒子之间还存在一定的电斥力。两者的协同作用将更有利于纳米金刚石粒子在液相中的稳定分散。

图3 油性介质中的表面活性剂在纳米金刚石表面吸附示意图 2 纳米金刚石在溶液中的分散方法 2.1 机械搅拌分散法

机械搅拌分散法是一种简单、传统的分散方式，依靠机械力的作用，将溶剂中的颗粒分散开。常用的比如，磁力转子搅拌、多款式搅拌棒搅拌、高速剪切搅拌等分散方式。由于纳米金刚石颗粒间形成软团聚和硬团聚[3]，仅依靠这种简单的机械作用，还不足以破坏纳米金刚石颗粒间的作用力，一般作为超声波分散等其他分散方式的辅助手段。

2.2 超声波分散法

超声空化技术是制备分散纳米材料的一种十分有效的技术。超声空化利用液体中空化气泡的形成、生长和急剧崩溃，来对颗粒进行打散，破坏颗粒的硬团聚。使用超声波分散的好处是在制备过程中，不会引入其他杂质。

李颖等[4]采用op-10作为分散剂，在磁力搅拌器搅拌的同时进行超声波处理，最后得到平均粒径0.788 μm，最细粒径350 nm的悬浮液。纳米金刚石粒径分布一般较宽，而制作抛光液时，要求粒度分布一定要窄。因为抛光液中大颗粒团聚体的存在，会对抛光过程中的工件产生划伤，对表面抛光质量产生影响。

Xu Xiangyang等[5]对水基中纳米金刚石溶液进行超声波处理，并使用分散剂进行改性，得到了团聚粒径在130 nm的悬浮液。朱永伟等[6]将改性后的纳米金刚石加入到含有分散剂的去离子水溶液中，经超声处理后，获得纳米金刚石抛光液。将其用于单晶硅片的抛光，抛光后硅片表面粗糙度值由3.6 nm降至0.301 nm，且抛光表面无划痕，效果较好。WILLIAMS O等[7]通过在氢气环境中热处理纳米金刚石，在表面引入了大量的氢原子。经改性后的纳米金刚石，在超声波和离心机的共同作用下，制成平均粒径为4 nm的纳米金刚石悬浮液，且颗粒表面电位达到60 mV。

超声波分散是纳米金刚石抛光液制备工艺中经常使用的技术，分散性能好，广泛应用在纳米金刚石分散工艺中。 2.3 分散剂分散法

使用离子型表面活性剂对纳米金刚石表面进行改性时，纳米粒子可以通过对离子型表面活性剂进行吸附，从而改变自身表面的电位，提高表面电位绝对值，实现良好的分散效果。如Heepark T等[8]利用金属Na离子取代纳米金刚石表面的H离子，增大了颗粒之间的电斥力，制成团聚粒径在100 nm以下的悬浮液，并且可以稳定悬浮60 d不沉降。

Shenderova O 等[9]以二甲亚砜作为溶剂，将颗粒表面带有正电荷的纳米金刚石置于二甲亚砜溶剂中，经进一步处理，获得了粒径在50 nm以下的悬浮液，可以保持365 d不沉降。Zhu Yongwei等[10] 研究了不同的表面活性剂对电动电势和粒子分散稳定性的影响。实验证明，不同的表面活性剂对纳米金刚石的表面基团进行改性，可提高表面电位和粒子的分散稳定性。

非离子表面活性剂虽然不带电荷，但是其所起到的空间位阻作用,在纳米金刚石分散中有着广泛的应用。如胡志孟等[11] 用聚氧乙烯型非离子表面活性剂，有效分散纳米金刚石于油介质中。实验证明：庞大的纳米亲水性基团聚氧乙烯基像一巨大的屏障膜，使纳米金刚石颗粒在油中相互弹开，削弱颗粒间的相互作用能，阻止了纳米颗粒的重新团聚，从而实现了纳米金刚石在油中的稳定分散。Komatsu Naoki 等[12]通过使用高分子表面活性剂，在纳米金刚石表面接枝聚甘油链，使其具有—O—R的结构，其中R代表一个聚甘油基团，可显著地提高纳米金刚石在水基溶液中的溶解性和分散稳定性。Akifumi Yao等[13]利用一种具有氟化基的表面活性剂作为分散剂，在水基溶液中来分散纳米金刚石，制得的抛光液可保持长时间的稳定，并且使用中几乎不会带来任何刮擦等问题。易彩虹[14]采用tween-80(聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯)改性炮轰的纳米金刚石，制备微乳液，得到纳米金刚石粒度尺寸在131 nm以下的水基悬浮液。

静电位阻和空间位阻对纳米金刚石的分散均有有效作用，理论上两种作用同时存在的条件下，应该会有更好的效果。许向阳等[15]通过组合使用RDC-25S(阴离子型)和RGN-10(非离子型)表面活性剂，对纳米金刚石进行改性。结果表明：组合使用分散效果比单独使用时要好，这是由于静电位阻和空间位阻的协同作用的结果。 虽然分散剂可以在纳米金刚石表面形成静电位阻、空间位阻、空间-静电位阻等，从而有利于纳米金刚石在溶液中的稳定分散，但是仅仅依靠分散剂是无法实现纳米金刚石颗粒的吸附改性的，需要在机械搅拌、超声波、球磨等机械作用力的协同作

用下，才可以发挥其作用，实现在颗粒表面吸附改性的目的，进而实现纳米金刚石颗粒的粒径可控。 2.4 化学改性分散法

化学改性方法是通过纳米金刚石表面的化学基团与可反应的有机物产生化学链接，增强了纳米金刚石在介质中的可溶性或是改变纳米金刚石表面电位，从而提高纳米金刚石在液体中的分散性能[16]。

Alexandre Barras等[17]通过纳米金刚石表面的氨基与4-叠氮苯甲酸钠发生偶联反应，在纳米金刚石表面获得叠氮基团。制得的功能化的纳米金刚石与表面富有羟基官能团的纳米金刚石相比，更容易在溶液中进行分散。Xu Xiangyang 等[18]对纳米金刚石热处理改性过程进行了研究，获得了比较稳定的纳米金刚石悬浮液。研究发现，经过在空气中对纳米金刚石进行热处理，使纳米金刚石表面的石墨层和含氧官能团都有所增加，表面羧基官能团密度和强度都有所提高，从而在纳米金刚石表面赋予了更多的负电荷。增加了颗粒之间的静电排斥作用，形成了一定的静电位阻，有利于纳米金刚石的稳定分散。同时，在空气中对纳米金刚石加热进行改性的过程中，还可以增加表面的含氧基团。如Shenderova O等[19]对爆炸法纳米金刚石在空气中加热。改性后发现纳米金刚石表面含氧官能团显著增加，制成粒径尺寸60 nm的纳米金刚石悬浮液。Wang Jun 等[20]通过甘氨酸、EDTA等对纳米金刚石表面进行改性，获得了较小的团聚粒径的金刚石抛光液。对GaN、AlN、GaAs晶片进行抛光，可获得较好的抛光效果。

不仅在水性介质中，通过化学改性可以实现对纳米金刚石的良好分散效果。在有机溶剂中，化学改性同样可起到有效的分散作用，如Li Chiachen等[21]将爆炸法制得的纳米金刚石，在420 ℃条件下氧化1.5 h，然后将氧化后的纳米金刚石分散到加有表面活性剂油酰胺的有机溶剂中，制得的悬浮液可以稳定存在3个月以上。柯刚等[22]采用1，3-丙二胺修饰纳米金刚石(ND)，合成出结构新颖的纳米金刚石

衍生物(ND-NH2)。激光粒度仪和TEM分析表明：经1，3-丙二胺改性后，纳米金刚石的分散性显著改善，其平均粒径从3.301 μm降低至0.166 μm。

Neverovskaya A Y 等[23] 对爆炸法获得的纳米金刚石的悬浮液稳定性和分散性进行了研究。结果认为：通过在纳米金刚石表面接枝有机硅官能团，可以实现纳米金刚石在有机溶剂中的良好分散效果。

在纳米金刚石表面接枝有机物，可以使原来表面的亲水基团变为亲油基团。改变了表面原来的基团结构，从而增加了在有机溶剂中的相容性。Zhu Yongwei 等[24]使用超分散剂对纳米金刚石表面进行化学机械改性，使纳米金刚石表面的官能团由亲水基变为疏水基，在油介质中获得了粒径为53.2 nm的纳米金刚石悬浮液。Liu Yu等[25]在150～310 ℃的温度范围内，通过氟气和氢气的混合物对纳米金刚石进行表面改性，获得氟化的纳米金刚石。将其分散于极性有机溶剂中，并通过置换反应，对其进行进一步的表面接枝。经过改性后的纳米金刚石在有机溶剂中的粒径与未改性的粒径相比，降低了6～12倍。

与分散剂吸附作用相比，化学改性则主要是依靠纳米金刚石颗粒表面官能团的反应，来达到对颗粒表面官能团修正的目的，增加其亲水性或亲油性。 2.5 球磨改性分散法

球磨改性分散法是指在球磨机中，通过纳米金刚石颗粒与磨球之间长时间激烈地冲击、碰撞，使纳米金刚石颗粒反复产生破碎、断裂，破坏硬团聚，导致纳米金刚石颗粒裸露出带有许多悬键基团的新鲜表面，然后在化学改性剂的作用下，实现纳米颗粒表面的改性，达到控制团聚体粒径的目的。

球磨的机械作用力相对于超声波的机械作用力更强。国内外的一些研究表明，通过球磨对纳米金刚石分散的效果最好，通过球磨处理后的纳米金刚石平均粒度尺寸100 nm以下，有的甚至可以接近于单颗粒分散。如翟海军[26]采用op-10、聚乙二醇为分散剂，溶入去离子水，并置于高能球磨机球磨罐中，进行湿法研磨，得到

浆料后对其进行提纯处理，分级后得到团聚粒径为10～100 nm的纳米金刚石抛光液。王柏春等[27]选用国内炮轰合成并经纯化的纳米金刚石干粉，采用自行设计制造的高速粉碎球磨机，对纳米金刚石进行球磨改性后，得到了细化且稳定悬浮的纳米金刚石悬浮体系。许向阳[28]在球磨体系中，加入分散剂，然后经过提纯去杂处理，得到了粒度分布在100 nm以下的分散体系，其中83.5%的磨料平均粒径为25.7 nm。Zhu Yongwei等[29]以阴离子表面活性剂与纳米金刚石按5∶100的比例，添加到磨粉机中以改善表面的性质。对改性后的纳米金刚石配制成均匀的悬浮液，抛光石英晶片后，其表面粗糙度值为0.214 nm。

国外的研究者通过球磨的作用获得了较国内更低的纳米金刚石分散粒径。如Eidelman E D等[30]使用氧化锆珠TZ-B30对纳米金刚石团聚体进行球磨，最后得到了基本粒径在4～5 nm的悬浮液。由于球磨过程中的氧化锆珠的不断撞击，诱发纳米金刚石表面产生更多的石墨层，使悬浮液颜色由灰色变为深黑色。Eiji sawa[31]使用30 μm的氧化锆珠球磨纳米金刚石，实现了纳米金刚石的解团聚。作者认为球磨存在两个缺点：一个是使用氧化锆球会引入杂质；另一个是球磨过程中，纳米金刚石表面会产生石墨层。通过使用高浓度的NaOH溶液加热的方法，可避免上述缺点的出现。Kruger A等[32]使用自制的立式搅拌球磨机，对纳米金刚石进行球磨。经过球磨后，得到了金刚石粒径10 nm以下的悬浮液。Amanda Pentecost 等[33] 在一个干燥的条件下，通过具有水溶性且无污染的晶体(食盐和蔗糖)对纳米金刚石进行球磨，在介质和球磨的协同作用下，调节pH值，制得粒径在10 nm以下的稳定的纳米金刚石悬浮液。和陶瓷球相比，球磨完成后的介质很容易被清水带走。

球磨改性是一种最有效的纳米金刚石颗粒表面改性方式。依靠球磨的作用，可以最大限度的破坏纳米金刚石颗粒之间的硬团聚，为各个单颗粒表面的改性提供基础，也使实现纳米金刚石单颗粒的分散成为可能。与其他几种分散方式相比，球磨改性

在纳米金刚石颗粒分散中有着无可替代的优异地位。 3 结语

(1)实现纳米金刚石抛光液中磨料粒径的可控，需要机械力与化学力共同的作用。 (2)在纳米金刚石颗粒分散的所有方法中，使用球磨改性法，使纳米金刚石抛光液中磨料团聚粒径控制到最低。

(3)由于难以避免的纳米颗粒团聚问题，目前大多只是实现了较大粒径的分散控制，获取的抛光液产品整体粒度尺寸较大。小粒径产品，比如单颗粒的纳米金刚石分散产品较少。开发更细粒径、质量稳定的纳米金刚石抛光液是科研工作者今后研究的方向。 参考文献：

【相关文献】

[1] 马文有, 田秋, 曹茂盛, 等.纳米颗粒分散技术研究进展——分散方法与机理(1)[J].中国粉体技术, 2002, 8(3): 28-31.

MA Wenyou, TIAN Qiu, CAO Maosheng, et al.Progress on dispersion technology of micron/nano-meter particles-dispersion method and mechanism(1) [J].China Powder Science and Technology, 2002, 8(3): 28-31.

[2] GIBSON N, SHENDEROVA O, LUO T J M, et al.Colloidal stability of modified nanodiamond particles [J].Diamond & Related Materials, 2009, 18(4): 620-626.

[3] 宋晓岚, 王海波, 吴雪兰, 等.纳米颗粒分散技术的研究与发展 [J].化工进展, 2005, 24(1): 47-52. SONG Xiaolan, WANG Haibo, WU Xuelan, et al.Research and development of dispersion technique for nanoparticles [J].Chemical Industry and Engineering Progress, 2005, 24(1): 47-52.

[4] 李颖, 李变晓, 赵盟月, 等.水性介质中纳米金刚石分散行为研究 [J].超硬材料工程, 2010, 22(2): 5-9.

LI Ying, LI Bianxiao, ZHAO Mengyue, et al.The dispersion behavior of nano-diamond in aqueous medium [J].Superhard Material Engineering, 2010, 22(2): 5-9.

[5] XU Xiangyang，ZHU Yongwei , WANG Baichun, et al.Mechanochemical dispersion of

nanodiamond aggregates in aqueous media [J].Journal of Materials Science & Technology, 2005,21(1): 109-112.

[6] 朱永伟, 王柏春, 许向阳, 等.一种水基纳米金刚石抛光液及其制造方法: 中国, 200410022936.0 [P].2005-01-05.

ZHU Yongwei, WANG Baichun, XU Xiangyang, et al.A water-based nano-diamond polishing liquid and its manufacturing method: China, 200410022936.0 [P].2005-01-05. [7] WILLIAMS O A, HEES J, DIEKER C, et al.Size-dependent reactivity of diamond nanoparticles [J].Fraunhofer Institute for Solid State Physics, 2010, 4(8): 4824-4830. [8] HEEPARK T, TAELEE K, SUKLEE J, et al.Nano-diamond dispersion solution solution and method for preparing same: EP, 2535312A2 [P].2011-02-11.

[9] SHENDEROVA O, HENS S,MCGUIRE G.Seeding slurries based on detonation nanodiamond in DMSO [J].Diamond & Related Materials, 2010, 19(2-3): 260-267. [10] ZHU Y W, SHEN X Q, FENG Z J ,et al.Study on the dispersion of nanodiamond aggregates [J].Key Engineering Materials, 2004, 259(10): 78-81.

[11] 胡志孟, 雒建斌, 李同生.纳米金刚石计算机磁头抛光液的研制及应用 [J].材料科学与工程学报, 2004, 22(3): 323-327.

HU Zhimeng, LUO Jianbin, LI Tongsheng.Development and application of nano-scale diamond polishing slurry of computer magnetic head [J].Journal of Materials Science & Engineering, 2004, 22(3): 323-327.

[12] KOMATSU N, ITO M.Surface-modified nanodiamond and its producing method: US, 20100261926A1 [P].2010-10-14.

[13] AKIFUMI Y, UBE S.Chemical mechanical polishing slurry: US, 20080111102 A1 [P].2008-05-15.

[14] 易彩虹.炮轰纳米金刚石在水中稳定分散研究 [D].大连: 大连理工大学，2011.

YI Caihong.Stable dispersion of detonation nano-diamond in aqueous medium [D].Dalian: Dalian University of Technology, 2011.

[15] 许向阳, 王柏春, 朱永伟, 等.表面活性剂组合使用对纳米金刚石在水介质中分散行为的影响 [J].矿冶工程, 2003, 23(3): 60-.

XU Xiangyang, WANG Baichun, ZHU Yongwei, et al.Influence of combined use of surfactants on nanodiamond dispersion behaviour in aqueous medium [J].Mining and Metallurgical Engineering, 2003, 23(3): 60-.

[16] SUNG Ho Kim, DIPEN Debnath, WOO Suk Lee, et al.Poly (vinylpy-rrolidone) as a tool: aqueous dispersion of nanodiamonds by wrapping in the solid state [J].Research Article, 2011, 61(8)：1228-1233.

[17] ALEXANDRE B, SABINE S, LIONEL M，et al.Functionalization of diamond

nanoparticles using “click” chemistry [J].Langmuir Article, 2010, 26(16): 13168-13172. [18] XU X Y, YU Z M, ZHU Y W, et al.Influence of surface modification adopting thermal

treatments on dispersion of detonation nanodiamond [J].Journal of Solid State Chemistry, 2005, 178(3): 688-693.

[19] SHENDEROVA O, PETROV I, WALSH J, et al.Modification of detonation nanodiamonds by heat treatment in air [J].Diamond & Related Materials, 2006,15:1799-1803. [20] WANG J, LACONTO R, HAERLE A.Chemical mechanical planarization using nanodiamond: US, 20100233880A1 [P].2010-9-16.

[21] LI C C, HUANG C L.Preparation of clear colloidal solutions of detonation nanodiamond in organic solvents [J].Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, 2010, 353(1): 52-56.

[22] 柯刚, 浣石, 黄风雷.1,3-丙二胺一纳米金刚石衍生物的合成与分散性研究 [J].功能材料, 2009, 40(5): 863-866.

KE Gang, HUAN Shi, HUANG Fenglei.Synthesis and dispersibility of derivative of 1,3-propanediamine with nanodiamond [J].Journal of Functional Materials, 2009, 40(5): 863-866.

[23] NEVEROVSKAYA A Y,VOZNYAKOVSKIÏ A P, DOLMATOV V Y. Structure of the dispersive medium and sedimentation resistance of suspensions of detonation nanodiamonds [J].Physics of the Solid State, 2004, 46(4):6-8.

[24] ZHU Y W, XU X Y, WANG B C, et al.Surface modification and dispersion of nanodiamond in clean oil [J]. China Particuology, 2004, 2(3): 132-134.

[25] LIU Y, GU Z N, MARGRAVE J L, et al.Functionalization of nanoscale diamond powder: fluoro-, alkyl-, amino-, and amino acid-nanodiamond derivatives [J].Chem.Mater, 2004, 16(20): 3924-3930.

[26] 翟海军.一种纳米金刚石抛光液的制备方法: 中国, 201110244241.7 [P].2012-3-28. ZHAI Haijun.A preparation method of nano-diamond polishing liquid: China, 201110244241.7 [P].2012-3-28.

[27] 王柏春, 朱永伟, 许向阳, 等.纳米金刚石硬团聚体的超细粉碎机械化学解聚研究 [J].矿冶工程, 2003, 23(6): 86-.

WANG Baichun, ZHU Yongwei, XU Xiangyang, et al.Disaggregation of nanodiamond hard-aggregates by mechano-chemical superfine crushing [J].Mining and Metallurgical Engineering, 2003, 23(6): 86-.

[28] 许向阳.纳米金刚石的解团聚与稳定分散研究 [D].长沙：中南大学，2007.

XU Xiangyang.The reaserch of deagglomeration and stable dispersion of nanodiamonds [D].Changsha: Central South University, 2007.

[29] ZHU Y W, FENG Z J, WANG B C, et al.Dispersion of nanodiamond and ultra-fine polishing of quartz wafer [J].China Particuology, 2004, 2(4): 153-156.

[30] EIDELMAN E D, SIKLITSKY V I , SHARONOVA L V, et al.A stable suspension of single ultrananocrystalline diamond particles [J].Diamond & Related Materials, 2005, 14 (11-12) :

1765-1769.

[31] EIJI .Recent progress and perspectives in single-digit nanodiamond [J].Diamond & Related Materials, 2007, 16(12): 2018-2022.

[32] KRUGER A，KATAOKA F，OZAWA M，et al.Unusually tight aggregation in

detonation nanodiamond: Identication and disintegration.Carbon, 2005, 43(8): 1722-1730. [33] AMANDA P，SHRUTI G，VADYM M，et al.Deaggregation of nanodiamond powders using salt- and sugar-assisted milling [J].Applied Materials & Interfaces, 2010, 2(11): 32-3294.