专利名称：适用于化学机械抛光的浆料及方法专利类型：发明专利
发明人：崔容寿,崔在建,金奎显申请号：CN200710103256.5申请日：20070510公开号：CN101070453A公开日：20071114
摘要：一种化学机械抛光的浆料，其包含分散于去离子水中的研磨料，以及有机粘度改进剂，所添加的粘度改进剂用于将浆料的粘度调整至0.5～3.2cps的范围内。
申请人：海力士半导体有限公司
地址：韩国京畿道
国籍：KR
代理机构：北京市柳沈律师事务所
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- baoaiwan.cn 版权所有 赣ICP备2024042794号-3
违法及侵权请联系：TEL:199 18 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务
