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专利名称：一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置及终端和检
测系统
专利类型：发明专利发明人：孙瑶,钟大龙,王新宇申请号：CN201910273286.3申请日：20190404公开号：CN111781148A公开日：20201016
摘要：本发明公开一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置、检测系统以及终端，涉及薄膜检测技术领域，以提高无损检测薄膜纵向不均匀性方法的适用范围。该薄膜纵向不均匀性检测方法包括：接收被测样品的椭偏光谱曲线信息，被测样品至少包括被测薄膜；根据被测样品的特性建立各向同性的物理模型，物理模型至少包括薄膜模型；将薄膜模型所含有的至少一个变量参数转换为梯度化变量参数；以被测样品的椭偏光谱曲线信息为曲线拟合目标，利用薄膜模型对梯度化变量参数进行曲线拟合，获得被测样品的光电参数在被测样品纵向方向上的变化曲线信息；根据变化曲线信息确定被测样品的纵向不均匀性。本发明用于薄膜纵向不均匀性检测。
申请人：神华(北京)光伏科技研发有限公司
地址：102209 北京市昌平区北七家镇未来科技城定泗路237号都市绿洲313A室
国籍：CN
代理机构：北京润平知识产权代理有限公司
代理人：王崇
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