（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201711350297.4 （22）申请日 2017.12.15
（71）申请人 新昌县祥云机械有限公司
地址 312500 浙江省绍兴市新昌县镜岭镇振兴路
（10）申请公布号 CN109929457A
（43）申请公布日 2019.06.25
（72）发明人 杨云忠
（74）专利代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司
代理人 李俊建
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
化学机械抛光液
（57）摘要
本发明提供了一种化学机械抛光液，包含
磨料、有机酸类速率增助剂、氧化剂、缓蚀剂和去离子水，所述缓释剂由5‑氨基四氮唑和/或苯基巯基四氮唑组成。本发明所述的化学机械抛光液，具有更好的缓蚀效果，且抛光速率较高且可调，可对晶片在前序制备过程中的缺陷有较强的修复作用。
法律状态
法律状态公告日
2019-06-25
公开
法律状态信息
公开
法律状态
权利要求说明书
化学机械抛光液的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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