保护膜检测方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610127183.2 （22）申请日 2016.03.07 （71）申请人 株式会社迪思科

地址 日本东京都

（10）申请公布号 CN105977175A

（43）申请公布日 2016.09.28

（72）发明人 梁仙一;伊藤优作;远藤智章;大浦幸伸;小田中健太郎 （74）专利代理机构 北京三友知识产权代理有限公司

代理人 李辉

（51）Int.CI

H01L21/66;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

保护膜检测方法

（57）摘要

提供保护膜检测方法，高精度地确认保护

膜覆盖装置所进行的水溶性保护膜的覆盖状况，是检测被加工物上是否覆盖有水溶性保护膜的方法。保护膜检测方法具有检测前的准备步骤(ST1)和检测步骤(ST2)。准备步骤(ST1)具有：反射强度获取步骤(ST12)，对参照物的覆盖有水溶性保护膜的第1区域和未覆盖水溶性保护膜的第2区域照射红外光并接受反射光，获取第1区域的反

射强度和第2区域的反射强度；阈值决定步骤(ST13)，根据波数为3000cm

法律状态

法律状态公告日

2016-09-28 2016-09-28 2018-03-09

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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